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電容傳感器是一種可改變參數的電容器,即能夠將被測非電量的變化轉化為電容量變化。電容傳感器具有結構簡單,工作性能高,非接觸測量,適應各種惡劣環境等優點,被廣泛應用于測量振動、位移、厚度、差壓、壓力、加速度等方面,另外還可根據極板間介質的介電常數隨溫度、濕度、容量改變而改變來測量溫度、濕度、容量等。
靈敏度
電容傳感器的靈敏度s與極距的平方成反比,極距越小,靈敏度越高,但極距減小受電容極板間擊穿電壓的限制。一般δ0=0.1~1mm左右。
電容量
電容傳感器的電容量C與極距δ呈非線性關系,為了減小非線性誤差,通常極距變化范圍Δδ/δ0≈0.01~0.1。
實際應用中,為了提高傳感器的靈敏度、增大線性工作范圍和克服外界條件(如電源電壓、環境溫度等)的變化對測量精度的影響,常常采用差動型電容式傳感器。